化工等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體來清洗和改性材料表面的設(shè)備，等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。1

化工等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)部分：控制單元、真空腔體和真空泵。控制單元主要包括電源部分和系統(tǒng)控制單元，電源部分主要有40KHz、13.56MHz、2.45GHz三種頻率，系統(tǒng)控制單元有半自動(dòng)控制、全自動(dòng)控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。真空腔體主要有不銹鋼真空腔體和石英腔體兩種材質(zhì)。真空泵主要有干泵和油泵兩種類型。1

化工等離子清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)有以下幾點(diǎn)：

清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序，提高了整個(gè)工藝流水線的處理效率；

等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題；

避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法；

采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀；

使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高，整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成；

等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到，因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；

使用等離子清洗，避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生；